FSM-ovi koriste metalne (aluminij ili berilijum) ili silicijum karbidne podloge u zavisnosti od specifičnih zahteva primene.Možemo obezbijediti ogledala sa gotovo svim zahtjevima premaza, od osnovnih metalnih premaza do visoko reflektirajućih dielektričnih premaza dizajniranih za primjenu lasera visoke energije (HEL).BlueHalo FSM-ovi pružaju veliko ubrzanje;>10.000 radijana/sec2 za našu 1”-2” klasu FSM-a.Naši FSM-ovi postižu visoku propusnost (>1 kHz optički ili položaj, ovisno o veličini) i pružaju nizak jitter od <1 µrad.
Veličina ogledala | 4 inča | 6inch | 8inch | 10inch | >10 inča | 4inch | 6inch | 8inch | 10inch | >10 inča |
Rezolucija | 1~3μrad | 3~5μrad | 1~3μrad | |||||||
Bandwidth zatvorene petlje | 100~300Hz (@1% putovanja) | 10 ~ 200Hz (@1% putovanja) | ||||||||
Step Response | 4~10ms (@1%putovanja) | 3 ~ 30 ms (@1% putovanja) | ||||||||
Angle Range | ≤ ±25mrad | |||||||||
Ponovljivost | ≤±5μrad | ≤±3 ~ ±10μrad | ||||||||
Radna temperatura | -40℃ ~ 70℃ | |||||||||
Temperatura skladištenja (℃) | -55℃ ~ 85℃ | |||||||||
Anti-vibration | GJB 150.16A-2009 | |||||||||
Anti-Impact | GJB 150.18A-2009 |